전소영 기자 입력 : 2024.04.01 10:58 ㅣ 수정 : 2024.04.01 10:58
현재 네온 회수율 72.7% …정제수 개선으로 77%까지 높일 계획 ‘재활용 소재 사용 중장기 로드맵’ 실현에 유의미한 성과 영향 기대
[사진 = SK하이닉스]
[뉴스투데이=전소영 기자] SK하이닉스가 반도체 업계 최초 네온 가스 재활용 기술 개발을 위해 국내 소부장 기업과 힘을 모았다.
SK하이닉스는 1일 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 밝혔다.
네온은 희귀 가스의 일환으로 반도체 노광공정에 필수적으로 사용되는 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)의 주요 성분이다. 네온은 레이저 광원으로 활용 시 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는 강점이 있다. 때문에 한 번 사용한 네온은 불순물 제거 등의 분리 및 정제만 거치면 재활용할 수 있다.
SK하이닉스와 TEMC는 노광공정 이후에 스크러버를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집했다. 그리고 TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 이렇게 정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급돼 반도체 제조 공정에 쓰인다.
현재 네온 회수율ㄹ은 72.7%로, SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제수율을 개선해 네온 회수율을 77%까지 향상시킬 계획이다.
양사의 이번 개발은 최근 국제 정세 불안으로 인해 수입에 의존해 온 네온의 수급 불확실성이 확대된 데서 출발했다. 회사는 국내 소부장 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나섰고 1년여 만에 성과를 달성했다.
이보다 앞서 SK하이닉스는 지난 2월 ‘재활용 소재 사용 중장기 로드맵’을 발표하고, 2025년까지 재활용 소재 비율 25%, 2030년까지 30% 이상으로 확대하겠다는 목표를 밝힌 바 있다.
SK하이닉스는 이번 네온 재활용 기술 개발이 이 로드맵을 실현해 가는 유의미한 성과가 될 것으로 기대한다.
