[뉴스투데이=전소영 기자] SK하이닉스가 가우스랩스와 함께 AI(인공지능) 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다.

SK하이닉스는 29일 미국 캘리포니아주 새너제이(San Jose)에서 열린 국제학회 ‘SPIE AL 2024’에 참가해 AI 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 공유했다고 밝혔다.

SPIE AL은 1955년에 미국에서 설립된 광학, 광자학 분야 가장 권위 있는 국제 학회로, 이번 학회에서 SK하이닉스와 가우스랩스는 산업용 AI 기반 계측 기술 관련 논문 2건을 합동 발표했다. 

가우스랩스는 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘Panoptes VM(Virtual Metrology)’의 예측 정확도를 향상시키는 알고리즘인 ‘통합 적응형 온라인 모델(Aggregated AOM)’을 소개했다.

SK하이닉스는 2022년 12월부터 Panoptes VM을 도입해 현재까지 5000만 장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 실시했다. 이를 시간으로 환산하면 초당 1개 이상의 웨이퍼를 가상 계측한 것으로, 그 결과 공정 산포가 약 29% 개선됐다.

가우스랩스는 ‘범용 노이즈 제거 기술(Universal Denoising)’도 소개했다.

이 기술은 AI를 이용해 다양한 형태의 이미지에서 노이즈를 한번에 제거해 준다. 양사가 함께  테스트를 진행한 결과, 이미지 획득 시간이 기존 기술의 1/4까지 단축되는 것으로 파악됐다. 이 기술을 적용할 경우 반도체 계측 장비의 생산성이 42% 개선될 것으로 기대된다.

SK하이닉스는 “당사는 반도체 수율과 생산성을 향상시키고자 그동안 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업해왔고 이번에 권위 있는 국제학회에서 양사의 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표하게 됐다”고 설명했다.

이어 “향후 가우스랩스와 지속 협력해 기술 우위를 확보하기 위해 노력하겠다”고 말했다.